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气态分子污染物控制解决方案

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气态分子污染物控制解决方案

当前微电子制造技术迅速发展，芯片线宽已经达到纳米级，因此相应的产品对生产环境的要求也越来越高。对微电子制造业来说，空气中的分子级空气污染物（或气载分子污染物，简称AMC）和颗粒物一样会危害产品并直接导致成品良率降低。分子级空气污染物以气态形式存在，高效空气粒子过滤器（HEPA）或者超高效空气粒子过滤器(ULPA)根本无法过滤掉AMC。所以微电子厂房内分子级空气污染的控制越来越重要。

解决方案

50多年来，普拉飞一直致力于为微电子行业开发提供高效的气态分子污染物控制方案，提高产品加工质量和成品率，保护工作人员健康，广泛应用于晶圆、半导体制造、先进封装、面板显示、光伏、硬盘驱动等电子行业，满足客户不同净化等级需求，提供全方位的洁净、安全、健康的空气解决方案，提升半导体、平板显示、硬盘驱动等制程的产品良率， 将洁净室的化学污染物浓度控制在产品器件可承受的超低浓度范围内。

洁净室FFU过滤器

普拉飞洁净室FFU过滤器是一种高效去除空气中颗粒和气态污染物的组合式过滤器，安装在风机过滤装置（FFU）中HEPA/ULPA上风流位置，用于有效去除气态分子污染物。

 

使用普拉飞专有干式化学滤料，可有效去除特定洁净室区域内的目标污染物。普拉飞干式化学气态污染去除技术比一般的活性炭能够去除更广谱的气态污染物，去除效率更高。普拉飞双组分纤维滤料复合技术, 滤料不需要使用任何胶体粘合，滤料可以充分去除气态污染物及异味。吸附滤料均衡分布在过滤网表层，以确保最好的过滤效率。PURAFILTER-FFU过滤器拥有更高的滤料加载量，使用寿命更长，维护成本更低。

PURAFILTER-CG-洁净室级别过滤器

 

使用普拉飞专利干式化学滤料，可以同时高效去除颗粒污染物和气态污染物。PURAFILTER-CG过滤器应用普拉飞双组分纤维滤料复合技术，滤料不使用任何粘合剂，滤料可与气态污染物充分发生反应和吸附，滤料均匀分布在过滤网结构中，确保更高的去除效率。